レーザー光をスキャンする方法は、２通りあります。
ガルバノスキャン方式
２枚のミラーを振って、Ｘ方向、Ｙ方向にレーザー光をスキャンする方式です。
ミラーの慣性モーメント（イナーシャ）が小さいため高速でスキャンすることが可能です。
一方、位置精度（誤差）は、通常１０μｍ以上になると思われます。
ステージ駆動方式
光軸は動かさずに、通常の工作機械のようにステージを移動することでスキャンする方式です。
ステージを動かすため、スキャン速度はかなり遅くなりますが、位置精度 （誤差）はステージの性能次第です。
当社の穴あけ用のレーザー加工機は、ステージ駆動方式を採っているため、工作機械並みの位置精度（±５μ程度）で加工ができます。
結果、ピッチ精度、形状精度とも高精度が得られます。また、穴の真直度も場所による変動はありません。